用于先端制程的钽靶材及环件，仅有美国、日本的少数几家跨国公司能够生产，如今这个名单中可以加上中国企业江丰电子。

8月31日，江丰电子(300666.SZ)在投资者互动平台上表示，公司产品已经进入5nm先端工艺，得到了全球一流芯片制造企业的认可。

据了解，江丰电子的高纯金属溅射靶材在技术门槛最高的半导体领域，已具备了一定国际竞争力，公司产品成功打入5nm先端技术，成为台积电、中芯国际、SK海力士、联华电子等全球知名芯片制造企业的核心供应商。

值得一提的是，江丰电子的产品研发与技术创新能力在同行业居领先地位。2022年上半年，公司研发投入5992.72万元，同比增长32.86%，占营业收入的5.52%。

得到全球一流芯片制造企业认可

8月31日，有投资者在互动平台提问，江丰电子与其他半导体企业相比，有哪些竞争优势，是否具有一定的稀缺性?

江丰电子回应表示，公司的竞争优势主要集中在：技术优势，具有国际水平的技术团队和持续的技术创新;产品优势，拥有稳定可靠的产品质量、产品性价比优势和良好的品牌形象;有利的市场地位，拥有优质的客户资源和领先的市场份额。产品已经进入5nm先端工艺，得到了全球一流芯片制造企业的认可。

江丰电子主营业务为超高纯金属材料的溅射靶材以及半导体产业装备机台的关键零部件的研发、生产和销售，其中超高纯溅射靶材包括铝靶、钛靶、钽靶、铜靶以及各种超高纯金属合金靶材等，这些产品主要应用于超大规模集成电路芯片、液晶面板、薄膜太阳能电池制造的物理气相沉积(PVD)工艺，用于制备电子薄膜材料。

2022年半年报中，江丰电子介绍，经过多年的技术研究与突破，公司的高纯金属溅射靶材在技术门槛最高的半导体领域已具备一定国际竞争力，公司产品成功打入5nm先端技术，成为台积电、中芯国际、SK海力士、联华电子等全球知名芯片制造企业的核心供应商。

具体来看，在超大规模集成电路芯片中，超高纯钛是被广泛应用的阻挡层薄膜材料之一。钛环件则是应用于130-55nm工艺当中，与超高纯钛靶材配套使用，其主要功能是实现更好的薄膜性能，以达到更高的集成度要求。

目前，在先端的铜制程超大规模集成电路芯片中，超高纯钽是阻挡层薄膜材料。钽靶材及环件是在90-5nm的先进制程中必需的阻挡层薄膜材料，因为应用在最尖端的芯片制造工艺当中，钽靶材及环件是靶材制造技术难度最高、品质一致性要求最高的尖端产品。

之前，用于先端制程的钽靶材及环件仅有美国和日本的少数几家跨国公司能够生产。特别是钽环件生产技术要求极高，目前只有江丰电子、霍尼韦尔、日矿掌握了生产此产品的核心技术。

近年来，随着高端芯片需求的爆炸式增长，钽靶材及环件的需求大幅增长，全球供应链极其紧张。目前，公司生产的钽靶材及环件主要用于超大规模集成电路领域。

超高纯钽靶收入增41.79%

不仅如此，超高纯铜及铜锰、铜铝合金靶材是目前使用最为广泛的先端半导体导电层薄膜材料之一。

在其应用领域中，超大规模集成电路芯片的制造对溅射靶材金属纯度的要求最高，通常要求达到99.9999%(6N)以上，平板显示器、太阳能电池用铜靶的金属纯度略低，分别要求达到99.999%(5N)、99.995%(4N5)以上。铜及铜合金作为导电层通常用于90-3nm技术节点的先端芯片中。

特别是铜锰合金靶材制造难度高，目前只有江丰电子、霍尼韦尔、日矿掌握了生产此产品的核心技术。

江丰电子表示，近年来随着高端芯片需求的爆炸式增长，铜锰合金靶材的需求大幅增长，全球供应链极其紧张。公司生产的铜及铜合金靶主要用于超大规模集成电路芯片和平板显示器制造领域。

攻克了技术难题，江丰电子的业绩增长也“顺理成章”。

2022年上半年，江丰电子实现营业收入10.86亿元，较上年同期增加50.18%;归属于上市公司股东的扣除非经常性损益后的净利润1.13亿元，同比增长181.49%;归属上市公司股东净利润1.55亿元，同比增长156.24%。

其中，江丰电子超高纯金属溅射靶材业务稳步提升，超高纯钽靶实现销售收入3.4亿元，同比增长41.79%;超高纯铝靶实现销售收入1.72亿元，同比增长35.21%;超高纯钛靶实现销售收入1.47亿元，同比增长49.47%。

江丰电子表示，2022年上半年，公司先端制程的超高纯金属溅射靶材的海外销量持续增加，同时随着国内加大对12英寸工厂建设的投资力度，公司的靶材产品作为Baseline直接导入，国内的先端制程靶材销售也有明显增长。

值得一提的是，江丰电子的产品研发与技术创新能力在同行业居领先地位。2022年上半年，公司持续加大技术研发和新品开发，研发投入5992.72万元，较上年同期增加1482.02万元，增长32.86%，占营业收入的5.52%。

2022年上半年，江丰电子及子公司共取得36项发明专利、27项实用新型专利。截至2022年6月30日，公司及子公司共取得境内有效授权专利527项，包括发明专利308项，实用新型专利219项。

江丰电子表示，公司持之以恒地加大研发投入，从生产装备的设计定制到原材料的自主可控，已经建立了完备的供应链体系，拥有完整自主知识产权，硬核实力不断增强，为公司业务发展打下了坚实的技术基础。(记者刘方益)

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